Buna katılıyorum: EUV kaynağını tek başına parlayan bir parça gibi görmek eksik kalır; değeri, çip üretimindeki optik ve kontrol zinciriyle birlikte ortaya çıkıyor. Kaynaktan maskeye, oradan wafer'a uzanan ışık yolu vakum, hizalama ve ölçüm düzeni içinde kararlı tutulmalı. Kaynak işini yapsa bile zincirin başka bir noktasındaki sapma pozlama kalitesini bozabilir.