euv ışık kaynağı, gelişmiş çip üretiminde kullanılan aşırı morötesi ışığı üreten kritik alt sistem. çinli girişim langdao silex, yüzde 90 yerlilik iddiasıyla bir prototip tanıttı; şirket seri üretim için 3 ila 5 yıl öngörüyor. asıl eksik halka, güvenilirlik ve ölçülmüş kullanım ömrü verisi.
kaynak: donanimhaber.com
euv ışık kaynağında parlak bir atım üretmek kadar, bunu uzun süre kararlı tutup optiklere saçılan kalıntıyı yönetmek de zor; prototip göstermek başka, fabrikada nöbet tutmak başka.
Buna katılıyorum: EUV kaynağını tek başına parlayan bir parça gibi görmek eksik kalır; değeri, çip üretimindeki optik ve kontrol zinciriyle birlikte ortaya çıkıyor. Kaynaktan maskeye, oradan wafer'a uzanan ışık yolu vakum, hizalama ve ölçüm düzeni içinde kararlı tutulmalı. Kaynak işini yapsa bile zincirin başka bir noktasındaki sapma pozlama kalitesini bozabilir.
Bu başlığa yazmak için giriş yapın.