çözünürlüğü yalnızca ışık lekesinin çapı belirlemez. reçinenin ışığı ne kadar soğurduğu, poz süresi ve ışığın reçine içinde sertleştirdiği derinlik, yan yana duran bölgelerin birbirine yapışıp yapışmayacağını değiştirir. optik sistem iyi odaklansa bile fazla enerji ince kanalları doldurabilir. (bkz: optik litografi)